מכשור עזר מיקרוסקופיה
208HR High Resolution Sputter Coater- 208HR ברזולוציה גבוהה ציפוי ריסוס
מק"ט:
- חומרי ציפוי מועדפים ליישומי FESEM הם:
- Pt / Pd: חומר ציפוי ברזולוציה גבוהה לשימוש כללי לדגימות שאינן מוליכות
cr: מצוין עבור חומרים מוליכים למחצה והדמיית אלקטרונים מפוזרת בחזרה ברזולוציה גבוהה
- Ir: חומר מצופה, כמעט ללא גרגרים
- תכונות עיקריות:
- מבחר רחב של חומרי ציפוי. תכנון ראש מגנטרון וטיפול יעיל בגז מאפשרים מבחר רחב של חומרי יעד.
- בקרת עובי מדויקת. עובי מותאם למתח הפעלה FESEM באמצעות בקר העובי ברזולוציה גבוהה MTM-20.
- תנועות במה מרובות זוויות. תנועות במה סיבוביות, פלנטריות והטיה נפרדות מבטיחות ציפוי אחיד עם קונפורמיות מעולה, אפילו על דגימות טופוגרפיות
- מחזיקי דוגמה מרובים. ארבעה מחזיקים לדוגמא מספקים אפשרויות להתאמה לגדלי דגימות בקוטר 32 מ”מ.
- גיאומטריה קאמרית משתנה. גיאומטריה קאמרית משמשת להתאמת קצב כדי לייעל את המבנה.
- מגוון רחב של לחצי הפעלה. התאמת כוח ולחץ עצמאית מאפשרת פעולה בטווח לחץ גז ארגון של 0.2 – 0.005 מבר.
- עיצוב קומפקטי, מודרני, שולחני. עיצוב וחיסכון באנרגיה מבטל את הצורך בשטח רצפה, מים או חיבורי חשמל מיוחדים.
- קלות תפעול. תפעול והגדרת המערכת דומים מאוד לציפוי ריסוס רגיל ואינם דורשים ניקוי נוסף בהשוואה למעילי קרן יונים.
כמות:
מקט"ים נוספים: